据报道称，机吨这款光刻机和一辆双层巴士车大小相近，元台重量将超过200吨。正制造重亿售价方面，新代这款光刻机价值4亿美元（约合人民币26.7亿元）。林美辅助光刻用途方面，机吨这款光刻机将被用于生产手机、元台笔记本电脑、正制造重亿汽车等电子设备的新代下一代芯片。根据此前曝出的光刻消息来看，这款光刻机的Ai导航机吨型号为High-NA EXE:5200，且已经预定出去了数台。元台
ASML高管表示，该光刻机的原型机有望在2023年上半年完工，首台设备预计会在2025年交付给英特尔。(责任编辑：时尚)